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氢还原工序除了还原炉还需要什么?炉后混氢炉管内走的什么介质

新新2021-08-16 07:50:00新能源17人已围观

简介氢还原工序除了还原炉还需要什么?  氢还原的目的是生产多晶硅。要想达到这个目的,就要保证还原炉里的化学反应能够正常 进行。要想保证还原炉里的化学反应能够正常进行,就要满足氢还原所需的条件。氢还原工序 所需的条件有四个方面:一是还原反应所需的条件;二是还原设备所需的条件;三是为保证安 全所需的条件;四是要保证还原尾气和废料能够得到处理。  (1)氢还原反应所需的条件。氢还原反应所需的条件主要是原料和热。要想生产多晶硅,就要有原料。氢还原法

氢还原工序除了还原炉还需要什么?

  氢还原的目的是生产多晶硅。要想达到这个目的,就要保证还原炉里的化学反应能够正常 进行。要想保证还原炉里的化学反应能够正常进行,就要满足氢还原所需的条件。氢还原工序 所需的条件有四个方面:一是还原反应所需的条件;二是还原设备所需的条件;三是为保证安 全所需的条件;四是要保证还原尾气和废料能够得到处理。
  (1)氢还原反应所需的条件。氢还原反应所需的条件主要是原料和热。要想生产多晶硅,就要有原料。氢还原法所用的原料是三氣氢硅或四氣化硅,再加上氢气二生产多晶硅所用的原料不是一般三氯氢硅或四氣化硅,是经过反复精馏提纯达到纯度标准的三氯氢硅或四氣化硅,一般生产太阳能级多晶硅时,纯度都要达到6N 以上,最好要达到 8N 。
  只有这样,才能保证生产出的多晶硅符合使用要求。只有三氣氢硅或四氣化硅还不能发生还原反应,还缺少还原剂。这里用的还原剂是氢气, 为方便起见,有人把氢气也称为原料。所以,还原原料包括三铽氢硅或四鉍化硅和氢气。氢还原所用的热,主要是电热。(2) 氢还原设备所需的条件。
  氢还原反应除了需要原料和热之外,还需要有设备。还原反 应的主要设备就是还原炉。还原炉装有炙热的硅棒,温度很高,为保证炉体不被烧坏,需要水 和油来冷却降温。还原炉冷却所用的油是工业上使用的导热油,一般要能够满足在300°C 下正常运行。为保证还原炉水套里不结垢,还原炉所用的冷却水最好是在高温下不结垢的软化水。
  如果 结垢,就会影响冷却效果,甚至损坏炉体,造成炉体报废。(3) 为保证安全所需的条件。在生产中,还原炉中有氢气。氢气是易燃易爆的危险气体,不可与空气直接接触,为保证安全需要对还原炉系统抽真空或采用氮气置换。为防止沾污, 气质量要高,纯度要在5N 以上,最好能达到6N。
  (4) 还原尾气和废料的处理。在生产中,还原反应要产生废气和废料。废气,一般称为尾 气。还原尾气中含有三氣氢硅、四氣化硅,氣化氢。这些都是污染环境的有害物质,不可直接 放空。还原的废料主要来自挥发器。为保证高质S 、高纯度,每炉生产后都需将挥发器中的剩 余料排出,排出的料就是废料。
  废料包括三氣氢硅或四氣化硅,也不能直接排放。因此,采用 三氣氢硅或四氣化硅法生产多晶硅,需要有尾气和废料处理的措施。

Tags: 还原炉   工序   还原  

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